本文標(biāo)題:原子力顯微鏡利用光學(xué)檢測法或隧道電流檢測法
信息分類:站內(nèi)新聞 新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-7-24 16:39:29
原子力顯微鏡利用光學(xué)檢測法或隧道電流檢測法
原子力顯微鏡利用光學(xué)檢測法或隧道電流檢測法，可測得微懸臂對(duì)
應(yīng)于掃描各點(diǎn)的位置變化，從而可以獲得樣品表面形貌的信息。
原子力顯微鏡們以激光檢測原子力顯微鏡掃描探針顯微鏡家族中最
常用的一種來詳細(xì)說明原理。
原子力顯微鏡二極管激光器發(fā)出的激光束經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)聚焦在微懸
臂背面，并從微懸臂背面反射到由光電二極管構(gòu)成的光斑位置檢測
器。
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