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本文標題:電子顯微鏡的電子束入射樣品時所產(chǎn)生的各種信息
信息分類:站內(nèi)新聞 新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-5-14 10:46:45
電子顯微鏡的電子束入射樣品時所產(chǎn)生的各種信息
電子顯微鏡電子束入射樣品時所產(chǎn)生的各種信息表示電子束與樣品原
子間的相互作用是表現(xiàn)樣品形貌和內(nèi)部結(jié)構信息的唯一途徑。
電子顯微鏡入射電子 與樣品原子中的電子和原子核會發(fā)生彈性碰撞
和非彈性碰撞，所產(chǎn)生各種電子信號和電磁輻 射信號都帶有樣品原
子的信息，從不同角度反映出了樣品的表面形貌、內(nèi)部結(jié)構、 所含
元素成分、化學狀態(tài)等。
電子顯微鏡信號在樣品內(nèi)產(chǎn)生的位置、深度和范圍各不相同，這一方
面與入射電子束的能量和打在樣品表面的束斑大小有關，另一方面也
與樣品內(nèi)對各種信號的吸收差異有關。
電子顯微鏡各種信號被特定的檢測系統(tǒng)收集后，可形成不同的影像或
其他形式的信息而被用于不同的顯示目的。
電子顯微鏡如透射電鏡利用透射電子成像，掃描電鏡則主要利用二次
電子建立影像，還可以通過一些其他附加裝置接受某種特殊信號來進
行信息處理。
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